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C/C复合材料大型沉积炉

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产品编号
0001
数量
-
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库存:
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产品描述

C/C复合材料大型沉积炉

 用途:

 可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVDCVI处理。

 

   特点

采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 

采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;

采用防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

化学气相沉积炉主要配置

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧

炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡

加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产

真空泵和真空计---进口/国产

人机界面:触摸屏/工控机

电器元件:正泰/施耐德/西门子

 

 

参数\型号

XR-CJL-Φ11200

XR-CJL-Φ15200

XR-CJL-Φ26320

XR-CJL-Φ33200

容积(L)

1900

3534

16989

17105

最高温度(℃)

1500

1500

1500

1500

工作区尺寸D×H(mm)

Φ1100×2000

Φ1500×2000

Φ2600×3200

Φ3300×2000

控温方式

日本岛电温控仪

加热方式

电阻加热/感应加热

真空系统

抗污泵

烧结气氛

碳氢气体等

额定电源电压(V)

380

额定加热电压(V)

根据设计确定,配置炉前变压器

极限真空度(Pa)

1-100(真空冷态)

 

 

关键词:
沉积炉
气氛沉积炉
复合材料大型沉积炉
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