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        • 商品名称: 真空脱脂烧结一体炉
        • 商品编号: be01

        化学气相沉积炉应用领域
        化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。


        化学气相沉积炉产品规格

        产品型号/规格W×H×L(mm)

        600*600*1000

        800*800*1200

        1000*1000*1500

        1200*1200*2500

        1500*1500*3000

        2500*2000*3600

        装载重量(KG)

        350

        800

        1500

        2500

        5000

        10000

        最高温度(℃)

        1500

        1500

        1500

        1500

        1500

        1500

        温度均匀性(℃)

        ±7.5

        ±7.5

        ±7.5

        ±10

        ±10

        ±15

        加热功率(kw)

        250

        360

        480

        600

        900

        1200

        极限真空度(Pa)

        20

        20

        20

        20

        20

        20

        压升率(Pa/h)

        0.67

        0.67

        0.67

        0.67

        0.67

        0.67

        以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

         

        化学气相沉积炉主要配置
        炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
        炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
        炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
        加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
        工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
        真空泵和真空计---进口/国产
        PLC:欧姆龙/西门子
        控温仪表:日本岛电/英国欧陆
        热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
        记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
        人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
        电器元件:正泰/施耐德/西门子
        料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车


        化学气相沉积炉技术特征
        本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;
        本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
        本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
        本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
        本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

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