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        • 商品名称: C/C复合材料大型沉积炉
        • 商品编号: 0001

        C/C复合材料大型沉积炉

         用途:

         可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVDCVI处理。

         

           特点

        采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;

        采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强; 

        采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

        对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;

        采用防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

        化学气相沉积炉主要配置

        结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

        炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧

        炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢

        炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡

        加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨

        工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产

        真空泵和真空计---进口/国产

        人机界面:触摸屏/工控机

        电器元件:正泰/施耐德/西门子

         

         

        参数\型号

        XR-CJL-Φ11200

        XR-CJL-Φ15200

        XR-CJL-Φ26320

        XR-CJL-Φ33200

        容积(L)

        1900

        3534

        16989

        17105

        最高温度(℃)

        1500

        1500

        1500

        1500

        工作区尺寸D×H(mm)

        Φ1100×2000

        Φ1500×2000

        Φ2600×3200

        Φ3300×2000

        控温方式

        日本岛电温控仪

        加热方式

        电阻加热/感应加热

        真空系统

        抗污泵

        烧结气氛

        碳氢气体等

        额定电源电压(V)

        380

        额定加热电压(V)

        根据设计确定,配置炉前变压器

        极限真空度(Pa)

        1-100(真空冷态)

         

         

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