C/C复合材料大型沉积炉
用途:
可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
特点
采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
采用防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;
化学气相沉积炉主要配置
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡
加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产
人机界面:触摸屏/工控机
电器元件:正泰/施耐德/西门子
参数\型号
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XR-CJL-Φ110×200
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XR-CJL-Φ150×200
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XR-CJL-Φ260×320
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XR-CJL-Φ330×200
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容积(L)
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1900
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3534
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16989
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17105
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最高温度(℃)
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1500
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1500
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1500
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1500
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工作区尺寸D×H(mm)
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Φ1100×2000
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Φ1500×2000
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Φ2600×3200
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Φ3300×2000
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控温方式
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日本岛电温控仪
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加热方式
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电阻加热/感应加热
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真空系统
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抗污泵
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烧结气氛
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碳氢气体等
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额定电源电压(V)
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380
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额定加热电压(V)
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根据设计确定,配置炉前变压器
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极限真空度(Pa)
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1-100(真空冷态)
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